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       協作機器人跟晶圓加工設備對接,做MES整廠自動化晶圓搬運解決方案,全自主知識產權上位機調度系統及規劃


       一臺設備對接5臺晶圓加工設備上下料,效率較人工作業提升68%,全自動化黑燈工廠,自主可控,多臺設備自主調度,24小時作業;



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